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E.4、微粒计数浓度的检测E,4。1,室内检测人员应控制在最低数量.不宜超过2人、面积超过100m2又需快速完成测定任务时,可适当增加人数 人员必须穿洁净服,应位于测点下风侧并远离测点。动作要轻.保持静止.E 4、2。0,1μm至5μm微粒的检测应符合以下要求,1、当采用光学粒子计数器,OPC。测定0,1μm至5m的微粒计数浓度时.应按本规范第16,4.5条第1款给出的公式计算空气洁净度级别、粒子计数器粒径分辨率应小于等于10.粒径设定值的浓度允许误差应为 20 并应按所测粒径进行标定 符合现行国家标准、尘埃粒子计数器性能试验方法.GB,T6167的规定。2,测点数可按式.E,4 2。1,求出。3 每一受控环境的采样点不宜少于3点。对于洁净度5级及优于5级以上的洁净室,应适当增加采样点 并得到用户,建设方,同意并记录在案.4 采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内,并位于工作区高度 取距地0 8m,或根据工艺协商确定,当工作区分布于不同高度时、可以有1个以上测定面,乱流洁净室。区、内采样点不得布置在送风口正下方.5。如建设方要求增加采样点,应对其数目和位置协商确定 6,每一测点上每次的采样必须满足最小采样量,最小采样量根据,非零检测原则.由下式求出。7。每点采样次数应满足可连续记录下3次稳定的相近数值.3次平均值代表该点数值,8,当怀疑现场计算出的检测结果可能超标时。可增加测点数、9、测单向流时、采样头应对准气流。测非单向流时 采样头一律向上.10,当要求0。1μm、5μm微粒在采样管中的扩散沉积损失和沉降,碰撞沉积损失小于采样浓度的5,时,水平采样管长度也应符合附录D 3、6条的规定.11。若采样口流速与室内气流速度不相等.其比例应在0 3,1,7,1之间,12,当因测定差错或微粒浓度异常低下,空气极为洁净.造成单个非随机的异常值。并影响计算结果时.允许将该异常值删除。但在原始记录中应注明。每一测定空间只许删除一次测定值 并且保留的测定值不少于3个,13、对于需要很大采样量,耗时很大的某粒径微粒的检测、可采用顺序采样法,即将每次测定结果标注于图E,4,2上,当标注点落入不合格区时.即停止检测、结果为不达标。当标注点落入合格区时,停止检测,结果为达标,当标注点一直在继续区中延伸 而总采样量已达到表E,4,2.2的最小采样量,累计微粒数仍小于20 即停止检测.结果为达标.当标注点一直在继续区中延伸、而总采样量未达到最小采样量、但累计微粒数已超过20 即停止检测.结果为不达标、E。4、3、对小于0 1μm的超微粒的检测。应采用适合这类微粒具体特性的采样装置组合使用,可采用凝结核计数器 CNC或CPC,加静电式分级器。迁移率分析仪,DMA。凝结核计数器、CNC或CPC。加扩散式分级器 DB。等,但必须有明确的性能说明书、或有自检报告,对所测超微粒的最低粒径的计数效率应达到50 采样点数目应与E.4 2条对0.1μm,5μm的要求相同,E 4。4,大于5μm的大。宏,微粒的检测应符合下列要求 1、用光学粒子计数器检测时应遵守下列规定 1.粒子计数器应经过大微粒的标定、符合现行国家标准,尘埃粒子计数器性能试验方法.GB、T、6167的规定,对洁净室为6级或优于6级的洁净室的测定。应采用不小于28.3L min的计数器.对其他级别洁净室的洁净度应采用不小于2 83L、min的计数器 2 当用28 3L,min计数器时。水平管不应长过0,5m、当用2 83L min计数器时、原则上不宜有水平管、3。采样口面积应按等速采样原则确定.室内风速取平均风速,2 用过滤器采集、显微镜检测时、应遵守下列规定.1。过滤器为孔径应小于等于2μm的滤膜,当过滤器采样口直径为25mm时,真空泵采样流量不小于7L,min,当过滤器采样口直径为47mm时、采样流量不小于28.3L.min 对于非单向流洁净室 总采样量不小于28、3L,min 对于单向流洁净室,总采放量不小于280L,min,取下滤膜 将滤膜放在清洁的盖玻片上。图E,4 4,采样面向上 放进有50 左右丙酮蒸汽的烧杯内熏蒸 对容积为600mL的烧杯.大约加入15mL丙酮,当做过3次样片时,再加入15mL丙酮。待滤膜透明后取出。再将盖玻片反向固定在载物片上、用铝箔圈或纸圈将盖玻片与载物片隔开。熏后在盖玻片四周用膜或蜡封住.2 计数时应把制好的标本片固定在显微镜。100倍。工作台的适合位置上.一张标本片上计数总面积不小于0,02、4mm2,在检测中应不断调整。3、测定之前、必须先测出使用的同一批滤膜的基数密度,最后的计数浓度由下式得出、

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