G，2、压力衰减法G，2，1、测试系统如图G。2、1所示，G、2.2。可按以下步骤进行检测1,将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定、记录压力衰减测试过程中室内温度的变化、温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0,1 2。关闭所测洁净室围护结构上的门 传递窗等，关闭回风管。或排风管，上的气密阀门、不得在风口上加其他密封措施。并维持各种孔洞缝隙的密封现状.3、开启送风.使室内压力上升至已商定的测试压力.压力计量程至少为测试压力的1，5倍,最小示值不宜大于10Pa.压力稳定后、停止送风,关闭送风阀门、4、或反之关闭送风管上的阀门,如果送风管上无阀或阀不严。应在送风口上用塑料膜加盲板的方法封住风口。开启排风，使室内压力下降至已商定的测试压力，压力稳定后。停止排风。关闭排风气密阀门,5.从停上送。排,风起，记录压力随时间衰减的数据 每1min记录1次压差和温度，连续记录至室内压力下降至初始压力的一半时止。6,测试结束后慢慢打开风阀，使房间压力恢复到正常状态。7，如果需要进行重复测试、20min后进行 8.当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵.G 2.3。检测报告应包括以下内容.1，检测条件。包括室内温度等,2 检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度,所测洁净室压力，温度的动态变化,检测持续的时间、3、检测结果包括所测洁净室压力下降至初始压力的1、2时的时间内压力衰减率、所测洁净室围护结构严密性的评价，