6，2、管材及附件6，2。1，除了纯度与干燥度的控制外,洁净室的洁净度级别，是我们控制管道系统输送气体污染物粒子量级的重要依据.气体管道系统供气质量符合洁净室的等级要求.就能够满足工艺气体洁净度对粒子污染物的控制要求、关于管材选配原则、是这样考虑的。1，管材的透气性要小。1,对于不同材质的管道。其透气性能不同,如果管材本身透气性较大.而安装中不恰当地作了选用。那么 无论采取任何处理手段去除污染.都将无济于事。管材透气性见表1，防止大气中氧的渗透和腐蚀，不锈钢管和铜管最佳,对700mm长管路中水分的测定，见表2.2。气体中的水分主要来自管路系统。而管路系统中的水分。在很大程度上受周边环境湿度的影响。渗透对管路内的气质有很大破坏力、普通铜管内表面对杂质 尤其对水分的活性很高。因此，当使用这类管材时。切忌用溶剂或化学药品清洗,而应当用纯净气体吹扫 3.由于管道安装的环境可能在室外，即使在室内，环境空气也有一定的湿度。对铜管也有一定的影响。所以 使用铜管时。对铜管的吹扫时间应当延长.一般为不锈钢管的8，20倍、否则难以达到应有的效果 4.不锈钢管材的活性比铜管差、所以对要求较高的高纯.洁净气体来说。不锈钢管是一种较为理想的管材,对于在1、5级洁净室内。采用316L不锈钢管。对应国产品牌00Cr17Ni14Mo2,5。对于6 9级管路系统，视要求的高低可以采用316或者304不锈钢管,对应国产品牌分别为0Cr17Ni12Mo2，0Cr18Ni9，6.对氧气管路系统应根据使用条件和周边状况 可采用铜管，压缩空气管道。干燥度在、20 与,40。时 采用不锈钢管304 0Cr18Ni9，2，管材内表面吸附 解吸气体的作用要小.在不锈钢熔炼制材过程中,每吨可吸收大约200g的气体，所以,不锈钢材加工完毕、不仅其表面粘有各种污染物。而且在其金属晶格内也吸留有一定量的气体.这样，当管路中有气流通过时.金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中.污染纯净气体 尤其当管内气流为不连续流动时.这类材料的作用好比吸附剂。通过气流时 管材对所通过的气体形成压力下吸附 气流停止通过时、管材所吸附的气体又形成降压解析.而解析的气体同样作为杂质进入管内纯净气体中,同时。吸附 解析周而复始 使得管材内表面金属也会产生一定的粉末，这种金属粉尘粒子同样污染管内纯净的气体。3。保持管材内表面光滑。耐磨损,管材的这一特性至关重要,为了确保输送的气体的纯净度，不仅要求管材内表面有极高的光滑度，而且应当具有很高的耐磨特性.这样，既防止污染粒子及湿气在管壁滞留.管材本身在气流的高速冲刷，击，下、由于磨阻损耗低 也避免了管材的金属粉末进入气流中、造成气体的污染 不锈钢管和铜管的不同见表3.2 为提高内表面的相对粗糙度、要在管材生产工艺中加以解决 如特殊拉拔 光亮退火。内面电抛光等，比起在施工过程中加以处理要有效和可靠.因此要使用成品专用管.一般不能在现场加工 处理使用。4.具有良好的抗腐蚀性能，在生产工艺中、使用腐蚀性较强的气体时。必须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管.否则 管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑。严重时会出现大片金属锈班剥离甚至导致管道穿孔 从而污染输配的纯净气体,这种场合不得使用普通无缝钢管或镀锌焊接钢管、5、在焊接处理时管材组织不发生变化。大流量的高纯,高洁净度气体输配管道的连接,原则上全部采用焊接,因此要求采用的管材在施焊时组织不发生变化。如果选用钢管，则低碳钢管材。316L、较为适宜。否则,含碳过高的材料在焊接时 受焊接热影响的部位可析出炭来、从而产生局部腐蚀应力，造成焊接部位的透气，使得管内外气体的相互渗透,破坏输送气体的纯度,干燥度和洁净度，导致各项努力全部失去意义 6、2、2，洁净室内的管材有具使用的特殊性,从进货。验证 保存。下料.焊接。装配 试压，吹除.运行等工序都有着严格的要求,所有这些内容与程序.都是管道系统质量的技术保障措施,因此 条文规定比较详细.以下几点应特别注意.1 洁净管材十分珍贵 进货不能像普通管材那样随意码放,不仅要保持外观的清洁,包装纸完好。更要防止磕碰、更重要的是保持内表面的粗糙度与光滑不受破坏、2。管端头的密封罩盖.甚至管外壁的包装纸都应完好无损.否则便成为施工单位的保管失职。3 由于特殊拉拔工艺生产的内表面，光亮退火BA、管材及内面、电研磨抛光的EP 管材，加工工艺复杂,价格昂贵，市场。内壁光滑洁净管 效果良莠不齐,不仅与国外的水平差距较大、国内各厂家的产品效果也相差甚远、必须进行相应的粗糙度的检测,验证其可靠性与真实性，确保施工起点高，从源头消除隐患、确保洁净室内相应级别的管道施工质量 因此。随机抽检内表面的粗糙度是否与设计相符.是否与出厂参数相符.是洁净管道施工的一项重要的程序、系统内表面加以处理，对减少管材自身可能造成的污染十分有效。目前.研磨 电抛光是管材内表面处理的最佳方式.如果在机械加工后经电抛光，则管路系统内表面的粗糙度会得到较大的改善.见表5。为确保输送气体的质量经过管道输送不发生变化增大了可靠性,6，2.5。管路附件材质最低应与主管材质一致，在采用铜材的管路系统中，可以采用不锈钢材质的管路附件、而在采用不锈钢材质的管路系统中、不得采用低于主管材的铜材质的管路附件。而且。凡是与应用气体接触的管路系统,均不得含有塑料制件，不锈钢管的耐磨性能优于铜管，在气流冲刷下产生的金属粉尘相对也少、对洁净度要求高的场合使用不锈钢管316L、316,304，不得采用铜管材 铜管内表而对杂质、尤其对水分的活性很高，因此,当使用这类管材时。切忌用溶剂或化学药品清洗，而应当用纯净气体吹扫,清洗也比不锈钢材难度大、而且在微电子生产中,个别生产工艺,如砷化镓的操作.为了防止产生器件电阻,不允许使用铜质管路及其附件 由于管道安装的环境空气也有一定的湿度、对铜管也有一定的影响.所以、使用铜管时 对铜管的吹扫时间应当延长 一般为不锈钢管的8、20倍,