6、2、洁净室压差控制6,2,1。洁净室、区,与周围的空间必须维持一定的压差。并应按工艺要求决定维持正压差或负压差,6,2。2,不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5Pa 洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa.洁净区与室外的压差不应小于10Pa,6,2,3。洁净室维持不同的压差值所需的压差风量、根据洁净室特点,宜采用缝隙法或换气次数法确定 6 2。4,送风,回风和排风系统的启闭宜联锁,正压洁净室联锁程序应先启动送风机。再启动回风机和排风机,关闭时联锁程序应相反、负压洁净室联锁程序应与上述正压洁净室相反,6,2,5,非连续运行的洁净室.可根据生产工艺要求设置值班送风 并应进行净化空调处理,

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