6。3,气流流型和送风量6,3.1,气流流型的设计应符合下列规定、1,洁净室、区、的气流流型和送风量应符合表6,3,3的要求.空气洁净度等级要求严于4级时,应采用单向流。空气洁净度等级为4级、5级时。应采用单向流,空气洁净度等级为6级 9级时 应采用非单向流。2、洁净室工作区的气流分布应均匀。3,洁净室工作区的气流流速应符合生产工艺要求,6 3,2,洁净室的送风量应取下列三项中的最大值。1,满足空气洁净度等级要求的送风量.2,根据热 湿负荷计算确定的送风量.3。按本规范第6,1,5条的要求向洁净室内供给的新鲜空气量,6.3、3.为保证空气洁净度等级的送风量 应按表6,3。3中的有关数据进行计算或按室内发尘量进行计算,表6,3、3.气流流型和送风量注、1。换气次数适用于层高小于4 0m的洁净室 2,应根据室内人员。工艺设备的布置以及物料传输等情况采用上、下限值、6,3.4 洁净室内各种设施的布置应考虑对气流流型和空气洁净度的影响、并应符合下列规定 1.单向流洁净室内不宜布置洁净工作台。非单向流洁净室的回风口宜远离洁净工作台,2。需排风的工艺设备宜布置在洁净室下风侧,3,有发热设备时 应采取措施减少热气流对气流分布的影响 4。余压阀宜布置在洁净气流的下风侧。

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