9，4.自动控制9.4。1。洁净厂房宜设置净化空调系统等的自动监控装置.9 4.2，洁净室净化空调系统宜选用变频调速控制的风机.9。4.3，净化空调系统的电加热器应设置无风。超温断电保护装置 当采用电加湿器时 应设置无水保护装置。