13。2.设备安装13、2.1,生产工艺设备安装施工条件宜符合下列规定,1 安装生产工艺设备前 洁净厂房净化空调系统应已连续正常运行48h，照明系统应已正常工作。且现场应有便捷电源供应,2，大型。特殊要求的生产设备。应按设计要求在净化空调系统安装前就位。可按本规范附录A进行。3,洁净室.包括风淋室,应已启用，并应建立洁净厂房设备安装管理操作规程.13，2。2 洁净室。区、内生产设备安装施工用辅助材料应符合下列规定.1 应为无尘.无锈.无油脂且在使用过程中不产尘的清洁材料、2、应以洁净.无尘的板材、薄膜等材料保护洁净室，区、的建筑装饰表面。3、设备垫板应按设计或设备技术文件要求制作、如无要求时可用不锈钢板或塑料板，4.制作独立基础和地板加固用的碳钢型材应经防腐处理,表面应平整 光滑。5 用于嵌缝的弹性密封材料应有注明成分,品种，出厂日期 储存有效期和施工方法的说明书及产品合格证书.13。2,3.洁净室,区,使用的机具不得搬至非洁净室 区、使用。非洁净室 区，使用机具不得搬至洁净室。区.使用 洁净区使用机具应符合下列规定。1 机具外露部分不应产尘或采取防止尘埃污染环境的措施.2，常用机具在搬入洁净区前应在气闸室进行清洁处理、应达到无油.无垢、无尘，无锈的要求 并应经检查合格贴上，洁净、或.洁净区专用、标识后搬入，13，2,4,设备特殊基础应符合下列规定,1，洁净室地面为活动地板时、基础宜设置在下技术夹层地坪上或混凝土多孔板上，2，钢制框架结构的独立基础应采用镀锌材料或不锈钢材料制作.外露表面应平整,光滑、3.安装基础所需拆除的活动地板、经手持电锯切割后的钢结构应予加固、其承载能力不应低于原承载能力，13，2，5，墙板 吊顶和活动地板开洞应符合下列规定.1、开洞作业不得划伤或污染需保留的墙板,吊顶板表面.活动地板开口后不能及时安装基础时，应设安全护栏并设危险标识，2 生产设备安装后,洞口四周间隙应进行密封处理,并应做到设备与密封组件为柔性接触。密封组件与壁板的连接应紧密、牢固 工作间一侧的密封面应平整.光滑。13，2。6。拆除包装应符合下列规定、1。设备开箱拆除外包装应在设备搬入平台上进行 并不得破坏内包装 2.设备的内包装应在气闸室前拆除、拆除前应先用吸尘器。洁净布清除内包装外表面的尘粒.13.2。7、生产设备从搬入平台经搬入口,气闸室至洁净室 区.的搬运应符合下列规定 1。对搬入设备的最大件无法通过预留的门洞时.可保护性拆除门或洁净室隔断,应在设备搬入后再恢复到原有状态.2，沿搬运路线的门框，墙角等处应设保护措施.3、在活动地板上搬运设备时.应敷设软塑料保护层和不锈钢板或铝合金板.4。当搬运重量超过活动地板的承载能力时。应根据现场实际情况采取加固措施、并应采用不产尘的材料。13,2。8，洁净室，区。内搬运生产工艺设备.宜采用搬运车或气垫搬运装置。搬运时应控制其行进速度不得大于1m.s,13,2 9、设备就位安装应符合下列规定,1、在自流坪地面安装设备时,应有地面保护措施,2 在活动地板上吊装设备时。应核对活动地板的允许荷载.当允许荷载不能满足起吊荷重时、应对活动地板进行加固.3 设备就位安装需开孔时,应采用真空吸尘接口或吸尘器吸除所产生的尘粒、直至吸尽孔内积存的尘粒