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附录C。测试方法C 1。空气洁净度等级测试C,1 1 空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器。采样量应大于1L,min、测试粒径大于或等于0,5μm粒子时,宜采用光散射粒子计数器.测试粒径大于或等于0、1μm的粒子时 宜采用大流量激光粒子计数器。采样量应为28。3L,min。测试粒径小于0,1μm的超微粒子时,宜采用凝聚核激光粒子计数器,C。1。2、采样点的确定应符合下列规定、1.最少采样点应按下式计算,式中。NL,最少采样点 四舍五入取整数,A.洁净室。区,的面积,在水平单向流时、指与气流方向垂直的流动空气的截面积。以m2计 2.采样点应均匀分布于洁净室 区.的面积内。并应位于工作区高度 C,1.3、每次采样的最少采样量应符合下列规定.1、每个采样点的每次采样量 VS。应按下式计算,式中。Cnm.被测洁净室。区。空气洁净度等级被测粒径的允许限值 个.m3.20,在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时,可检测到的粒子数 2,每个采样点的采样量应至少为2L,采样时间应最少为1min 当洁净室,区 仅有1个采样点时,在该点应至少采样3次.当VS很大时、采样时间较长.宜采用顺序采样法 C,1、4,对于单向流洁净室.采样口应对着气流方向。对于非单向流洁净室,采样口宜向上 采样速度宜接近室内气流速度。C,1,5。室内测试人员应穿洁净服。不得超过3人,测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点、并应保持静止、进行换点操作时动作应轻 应减少人员对室内洁净度的干扰 C 1,6,每个采样次数为2次或2次以上的采样点.应按下式计算平均粒子浓度.式中。Xi,采样点i的平均粒子浓度,i可代表任何位置,Xi1至Xin 每次采样的粒子浓度。n.在采样点i的采样次数。C 1 7,采样点为1个时,应按本规范式、C.1,6、计算该点平均粒子浓度,采样点为10个或10个以上时.应按本规范式.C,1,6。计算各点的平均浓度后.再按下式计算洁净室 区,总平均值。式中。X,各采样点平均值的总平均值,Xi1至Xim、按式、C,1。6 计算的各个采样点的平均值.即洁净室,区,总平均值,m,采样点的总数.C.1、8,置信上限。UCL、的计算应符合下列规定.1,当采样点只有1个或多于9个时。不计算95 置信上限。2、采样点为1个以上10个以下时.除应根据本规范式,C。1,7 计算各采样点的平均值和总平均值外.还应按下式计算总平均值的标准偏差.3,应按下式计算总平均值的95、置信上限,式中.t、分布系数,应按表C。1 8取值,表C 1,8、95.置信上限 UCL,的t分布系数 4、每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95、置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时,可认为该洁净室。区,已达到规定的空气洁净度等级,测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时。宜增加均匀分布的新采样点进行测试,应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算。其结果可作为最终检验结果。

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