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C。14。微振测试C。14、1。洁净厂房中需要微振控制的精密设备仪器或房间、区域、应进行微振控制设施的建造质量检测、检测宜采用微振测试分析系统进行测试,可包括微振动传感器,专用仪器和计算机分析系统等,C,14、2 微振测试应按下列规定分阶段进行 1 洁净厂房建设场地的环境振动测试,应提供振动设计的本底数据 2 建筑结构振动特性测试,应在结构工程施工完成后 按微振控制设计要求进行测试,校核结构建造质量 3 精密设备仪器安装地点的环境振动测试.应在洁净厂房中各种公用动力设备安装并试运转后,应按洁净厂房中除生产工艺设备外的所有设施,设备均已正常运转后进行精密设备仪器安装地点的环境振动测试.以最终校核、确定精密设备仪器和相关设施的微振控制措施,4 精密设备仪器的微振最终测试。应在此类设备试运转后。并应按生产工艺要求的状态进行最终测试,检查微振控制设施的整体建造质量,

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