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附录C,测试方法C,1,空气洁净度等级测试C,1 1、C。1.8.为了方便实施本节的相关要求 在本条文说明中列入2个空气洁净度等级计算实例、供参考、1,空气洁净度等级计算例1,本例摘自国际标准.洁净室及相关受控环境,第4部分、设计 施工 启动,ISO 14644.1附录D中的例2 是为了说明95,置信度上限值计算对结果的影响、规定一洁净室空气悬浮粒子洁净度动态时为ISO3级、采样点数目定为5个 由于采样点数目多于1个、少于10个、应计算95、置信度上限值,只选择一种粒径限值 D,0.1μm.1,ISO3级,粒径大于或等于0,1μm的粒子浓度限值。Cn,0.1μm,1000个,m3,2、在各采样点仅采样一次 各点每立方米的粒子数目X记录见表4,表4,采样点粒子数.D、0.1μm时各粒子浓度值小于。1。中规定的限值,这个结果满足了分级的相关规定.因此可进行95.置信度上限值的计算,3,按公式计算总平均值.取800个。m3 4,按公式计算采样点平均值的标准偏差 6、所有单次采样量的粒子浓度均低于规定的分级限值、但是95 置信度上限值的计算表明.该洁净室的空气悬浮粒子洁净度不符合规定的级别、本例说明 一个单次采样的限值外低粒子浓度,即第5个采样点、对95、置信度上限值计算结果的影响.因为空气洁净度未达标是由于该95.置信度上限值造成的,而这一上限值是由单个的低粒子浓度值造成、因此应记录,分析造成低粒子浓度的可疑因素 由相关各方协商认可。2 空气洁净度等级计算例2,被测洁净室、区,面积为1000m2,空气洁净度等级为ISO5级。规定受控粒子粒径为0、3μm.D1、0,5μm,D2,根据测试结果确定在动态下是否符合规定的悬浮粒子允许浓度限值。1,规定的粒径均在现行标准ISO5级粒径范围 并符合D2,1。5D1的要求。2、计算最大允许悬浮粒子浓度。对大于或等于0 3μm的粒子,选用采样量为28L.min的粒子计数器。这一选择满足,VS 2L、Cnm.20个、m3的要求 其采样时间大于或等于1min、5.在每个采样点仅作一次采样.28L、min、测试得到的计数记录见表5 表5,计数表。一、6.以测试数据,折算为每立方米的粒子数。Xi、见表6、表6、计数表,二,

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