、5，2。纯水回收 5,2，1,纯水回收设计应与电子产品生产工艺设计密切配合、并应根据工程实际情况 回收水质，水量 结合当前的技术。经济条件等合理确定回收率,并宜符合下列要求，1 应用于集成电路生产的超纯水系统 其纯水回收率不宜低于75.2，应用于集成电路封装测试生产线的纯水系统,其背面减薄废水和划片废水应予回收利用、3。应用于TFT LCD生产线的超纯水系统.其纯水回收率不宜低于50.5.2。2 经管路系统收集的用后纯水应连续检测其电导率 pH值和TOC 当检测值符合回用要求时、应予以回用。不符合回用要求时、应将其排放至废水处理系统,5。2、3，回收水处理系统流程的拟定和设备的选择.应根据工程的 具体情况。回收水水质，水量以及处理后的用途等因素综合确定,当不能取得回收水水质资料时、可按已建同类工程经验或经科学实验后确定.