4。2,洁净室,区 环境监控设计4 2,1，根据工艺要求、应对洁净室，区,的空气参数进行监视，测量和记录、4、2。2、洁净室、区。的监控系统与净化空调的监控系统宜合用。或采用通信的方式进行数据共享。4，2,3,多个洁净室 区,采用一套监控系统时,应根据最严格的洁净室。区 的温度和湿度要求选择控制系统的精度、4、2 4 洁净室,区,内外的压差检测.宜采用压差变送器监测.4 2、5。洁净室 区，安装有过滤器时，宜具有过滤器压差报警功能。4、2，6,传感器宜对化学物质沉积采取防护措施或具备自洁功能