4,2、洁净室.区，环境监控设计4.2,1 对温度、湿度，露点温度,压差。洁净度,空气成分等全部或部分空气参数进行监视 测量和记录.并及时报警、维持洁净环境,满足工艺生产的要求。对于生产新型显示器件及半导体器件的洁净室环境,悬浮分子污染物.Airborne，Molecular Contaminants。AMC.的控制越来越重要、国际半导体设备与材料协会、Semiconductor、Equipment。and,Materials International SEMI，的标准根据化学品的特性,将洁净室中的空气污染物分为酸、Molecular，Acids，MA、碱、Molecular,Bases，MB,可凝聚物.Molecular,Condensables MC,和掺杂物。Molecular,Dopants.MD,4、2 2,系统合用便于统一管理，保证数据传输的可靠。及时。如分开设置，需采取措施保证不同监控系统间数据通信的可靠、及时。4 2.3、在同一栋生产厂房内 工艺段对洁净环境的温度 湿度 压力要求不同，但控制系统共用时、控制系统的选择应满足最严格的要求,4，2，6,个别生产工艺段有化学沉积现象,化学物质沉积在敏感元件处时会影响测量精度。严重的会使传感器失去功能,因此、要采取适当的防护措施.