3，3、化学品供应管道系统3、3 1，电子工厂的化学品属于危险性物质、管道架空敷设有利于管道的运行管理。可及时发现问题并便于维修。3 3,2、化学品供应管道设计流向一般应从下往上、这主要是为了消除系统中的气泡，利于介质的流动 3 3，3,为防止管路中的下述部位发生泄漏、规定酸碱类 研磨液.腐蚀性溶剂化学品双套管的内管应无焊接点。任何存在转接头.三通 大小头，焊接等连接点的部位都应安装在箱体内。3.3.4。由于研磨液化学品的黏度较大,输送较为困难、规定研磨液化学品管道应尽量缩短化学品供应设备到使用点的距离,并尽量减少弯头数量 3、3。5.非腐蚀性溶剂类化学品通常具有易燃易爆性质,同时考虑电子工艺对化学品纯度的要求、规定该类化学品采用不锈钢管道。3，3。7、条文中关于管道与阀门、设备连接时，应采用阀门 设备相同的连结方式是指阀门,设备配置的如法兰.双卡套。扩口,入珠、焊接等连接方式,