11，2.氖氦提取设备11.2 1.除氢装置安装允许偏差应符合表11 2。1的规定,检查数量.全数检查，检验方法 应符合表11、2.1的规定、表11、2 1。除氢装置安装允许偏差和检验方法11、2 2。除氢装置的吸附器。催化器在装填前应干燥，洁净.吸附剂,催化剂的规格和填充量应符合设计技术文件的规定、吸附剂。催化剂应按设计技术文件的规定进行活化.检查数量 全数检查、检验方法,观察检查，11。2，3,氖氦储气罐安装允许偏差应符合表11、2、3的规定，检查数量 全数检查.检验方法，应符合表11。2,3的规定.表11。2，3、氖氦储气罐安装允许偏差和检验方法11。2.4.氖氦储气罐安装前内部应干燥。洁净.安装后应作气密性试验 试验压力应为工作压力.停压24h不应泄漏,检查数量、全数检查 检验方法 观察检查.用压力表测量,11，2，5。除氮装置允许偏差应符合表11，2.5的规定 检查数量.全数检查。检验方法，应符合表11,2 5的规定，表11。2。5，除氮装置安装允许偏差和检验方法 11,2、6，真空泵安装允许偏差应符合表11、2 6的规定,检查数量 全数检查。检验方法.应符合表11，2.6的规定、表11，2。6、真空泵安装允许偏差和检验方法 11 2 7。氖氦气体压缩机安装,膜式压缩机,安装允许偏差、应符合表11,2，7的规定 检查数量.全数检查、检验方法.应符合表11、2、7的规定。表11.2,7,膜式压缩机安装允许偏差和检验方法、11,2.8 氖氦分离装置安装允许偏差应符合表11。2，8的规定，检查数量 全数检查、检验方法,应符合表11。2、8的规定 表11。2。8,氖氦分离装置安装允许偏差和检验方法