4 精密仪器和设备4.1,精密加工与检测设备4。1、1.精密加工设备在时域范围内的容许振动值、宜按表4.1。1的规定确定,4,1、2。电子工厂 纳米实验室及物理实验室用精密仪器和设备在频域范围内1,3倍频程的容许振动值,宜按表4、1、2的规定确定。注.当频率重叠时.应同时满足两个频率区间上的容许振动要求,4,1 3,三坐标测量机在频域范围内的容许振动值。宜按表4.1、3的规定确定、注.1,本表适用于测量范围在500mm。2000mm的三坐标测量机 2,ε为测量精度,L为三坐标测量机的最大量程 3.表中30Hz.50Hz之间数值可采用线性插值计算,

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