5,7 显.影，台5.7 1。显影台的安装应符合下列规定.1.搬运时应防撞防抖,不得直接拖动、2。应通过调节四个地脚高度，使得真空吸盘呈水平状态、并应用水平仪进行测试和确认，3.显影，清洗腔的排风系统应与厂房内的排风系统相连接，4、应接入压缩空气。氮气及真空三种气路 冲洗用纯水压力应为0。13MPa。0.35MPa,5 设备的排液管必须接入废液管道 废液管道必须通向废液处理池 6,存储显影液和漂洗液的储液罐及自动喷溅系统安装好后不应漏液,7,应核查设备的氮气欠压保护、真空保护。设备急停报警功能是否正常 承片台吸附时的真空压力值应低于35kPa，5。7。2，显影台的调试及试运行应符合下列规定 1.应先连接好显影液供应管道、去离子水管道、2、开机后设置好工艺液体的温度,液体温度应在10，30。间可调,应调节好喷头喷溅压力，其调节范围应在0.14,7，104Pa间，3 应设定好真空口及盘旋转速度、显影时间,漂洗时间、冲洗时间以及主轴转速、并应进入工艺设置选项设置好试运行工艺步骤,4，应将已曝光的基片放入片盒.然后将片盒放入片盒卡槽位置,5。应选择要运行的程序并单击屏幕主运行界面上的.启动，按钮,系统可按设定的参数和工艺步骤进行自动显影 清洗操作,6，进行显影。漂洗和烘干工序操作时基片均应有氮气保护。工艺结束后应自动进行氮气吹干和高速甩干。7 机械手自动进行取片和收片时不得手动在片盒中取片或放片.8。设备运行时应无振动和噪声.9。设备显影，漂洗后应进行烘干处理,温度控制范围宜在60。180、控温精度应为 2，10，结束后应对基片进行目检 整个基片表面应冲洗干净并且完全干燥、应无微粒、污点或瑕疵 显影合格的基片应均匀，线条应整齐、应无残胶.无毛刺.