C、2,分步流程C,2,1、外延片生产可采用图C 2 1所示基本工艺流程、图C。2.1 外延片生产基本工艺流程C.2,2,管芯,芯片 生产工艺流程应包括蓝光.绿光芯片生产工艺流程和红光,黄光芯片生产工艺流程、并应符合下列规定、1,蓝光、绿光芯片生产可采用图C、2、2,1所示基本工艺流程,图C,2 2。1 蓝光.绿光芯片生产基本工艺流程 2.红光。黄光芯片生产可采用图C、2 2 2所示基本工艺流程。图C,2,2.2,红光.黄光芯片生产基本工艺流程C 2.3 管芯.芯片,封装生产可采用图C,2,3所示基本工艺流程。图C 2 3 管芯,芯片 封装生产基本工艺流程

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