3,术语和定义、下列术语和定义适用于本文件、3、1。等离子体，plasma。由离子 电子和中性分子或原子组成的混合体,注。本标准的等离子体是由气体分子在电场作用下电离后形成的 3，2、过氧化氢气体等离子体低温灭菌器.low temperature.hydrogen,peroxide。gas plasma、sterilizer,在60，下,用过氧化氢气体进行灭菌。并用等离子分解残留过氧化氢的装置。3.3,准备期,conditioning。stage.过氧化氢注入舱体前为准备灭菌进行真空和加热的过程.可有过氧化氢提纯.等离子体化过程，3.4、灭菌期、sterilization stage,过氧化氢注入舱体，依靠过氧化氢气体在一定浓度、温度.压力下作用一定时间进行灭菌的过程。3 5。解析期.ventilation、stage，排出和分解过氧化氢气体的过程、包括真空排气、等离子体化过程