7，3 气,体7，3、2，条文中规定风冷式空气压缩机设置热排风管道、这是为了防止热空气发生短路现象，导致设备因为冷却不当而停机，7，3，3，工程实践表明。干燥压缩空气输送露点低于.40.时。管道采用不锈钢无缝钢管。阀门采用球阀是合适的、7。3,4.由于微波集成组件工厂大宗气体用量相对较小 采用外购液态气储罐或瓶装气体方式供气可以满足生产需求。这也是目前微波集成组件工厂普遍采用的大宗气体供气方式、7。3,5，气体纯化装置是保证气体品质的重要设备、气体气源参数和使用参数是确定纯化装置的重要数据,终端纯化器靠近工艺设备是为了保证气体的品质。7 3.6 大宗气体管道和阀门的选择与工艺对气体品质的要求关联度较大 因此规定根据气体的纯度确定管道材料和阀门类型，可燃气体管道尽量采用波纹管阀，7，3,7,工艺真空系统管道材料根据工艺真空系统压力选用。7.3、9.常用的工艺真空管道材料为镀锌钢管或厚壁聚氯乙烯管道。