9.5，静电防护及接地9 5.1。洁净厂房应根据工艺生产要求采取静电防护措施、9。5。2。洁净室。区 内的防静电地面。其性能应符合下列规定、1,地面的面层应具有导电性能,并应保持长时间性能稳定 2 地面的面层应采用静电耗散性的材料。其表面电阻率应为1.0。105Ω,1,0.1012Ω 或体积电阻率为1,0。104Ω.cm.1,0 1011Ω.cm 3,地面应设有导电泄放措施和接地构造、其对地泄放电阻值应为1，0。105Ω。1.0。109Ω,9 5，3 洁净室的净化空调系统应采取防静电接地措施、9。5,4、洁净室内可能产生静电危害的设备,流动液体、气体或粉体管道应采取防静电接地措施,其中有爆炸和火灾危险场所的设备 管道应符合现行国家标准.爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范 GB，50058的有关规定，9，5、5 防静电接地系统应分别按不同要求设置接地连接端子，在一个房间内应设置等电位的接地网格或闭合的接地铜排环,在防静电接地系统各个连接部位之间电阻值应小于0。1Ω.9,5，6.洁净厂房内不同功能的接地系统的设计均应遵循等电位联结的原则 其中直流接地系统不能与交流接地系统混接。直流工作接地的接地干线应单独绝缘敷设,并应使用绝缘屏蔽电缆、9 5.7。接地系统采用综合接地方式时接地电阻值应小于或等于1Ω,选择分散接地方式时，各种功能接地系统的接地体必须远离防雷接地系统的接地体，两者应保持20m以上的间距.洁净厂房的防雷接地系统设计应符合现行国家标准,建筑物防雷设计规范、GB、50057的有关规定,