12 4，自动控制12、4.1 洁净厂房的自动控制系统宜采用集散式网络结构.并应具有稳定 可靠，节能,开放和可扩展性、12。4。2。洁净厂房应对净化空调、供热,供冷、纯水和气体供应等系统进行自动监控.12，4,3，洁净室.区.内外的压差监测，宜采用压差变送器通过控制系统调节洁净室。区,的送风量或回风量.12 4 4 净化空调系统采用电加热器时、电加热器与风机应联锁控制，并应设置无风、超温断电保护，当采用电加湿器时、应设置无水，无风断电保护.12，4.5，在满足生产工艺要求的前提下、宜对风机 水泵等动力设备采取变频调速等节能控制措施，