5 5。设备及工器具5，5。1.洁净室、区，内应采用具有防尘.防污染的生产设备和辅助生产设备.并应符合下列要求 1，表面应光洁、易清洁 不积尘、不挥发化学物质，2,设备的传动部件等应密封性能好。并应防止润滑油。冷却剂等的泄漏 3。对生产中发尘、排热量大或排出有毒,可燃气体的设备 应采取防扩散措施、4,设备的金属外壳应设置接地设施.5、5，2。当设备安装在跨越不同空气洁净度等级的洁净室。区,时，宜采取密封隔断措施。5。5、3。洁净室.区.内的设备宜选用低噪声产品 当所选设备超过洁净室噪声容许值时，应采取隔声措施.5 5。4.洁净室。区.应设置对电子产品生产过程所使用的工器具进行净化处理的设施.5、5,5,洁净室.区,内，电子产品生产过程中各种零，部件存放和传送,宜采用专用容器 用于存放和传送的专用容器。应符合下列规定、1,制作材料应光洁 不吸湿,不锈蚀 不散发污染物。防静电，并在空气中不应被氧化 2 应密封性能好，3.当存放物有严格的洁净度要求时 宜充填高纯度或干燥氮气。4.构造.外形应满足生产工艺要求。并应方便操作和运送.5.5 6 洁净室，区，内设置真空泵时.应符合下列规定 1,使用油润滑的真空泵应设置除油装置。除油后尾气应排入排气系统,2.对传输含有可燃气体的真空泵,可燃气体浓度超过爆炸下限的20 时 应设尾气处理装置。在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分 3 传输易燃 自燃化学品或高浓度氧气的真空泵.应采用不燃泵油 并应配置氮气吹扫。氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁.