15，3，微振动控制设计15，3,1,洁净厂房的微振动控制设计、应按下列阶段进行微振动测试分析.1.场地环境振动测试及分析 2 洁净厂房建筑结构振动特性测试及分析，3.精密设备 仪器安装地点环境振动测试及分析。4，微振动控制的最终测试及分析、15、3，2.有微振动控制要求的洁净室.区，其建筑结构的微振动控制设计,应符合下列规定。1。建筑物基础宜置于动力性能良好的地基土上、且基础应有足够刚度.2，应设置独立的建筑结构微振动控制体系,并应与厂房主体结构分隔，3、主体结构应根据微振动控制的要求。适当加大梁、柱。墙 基础等截面尺寸.15,3，3、有强烈振动的设备和管道 宜采取主动隔振措施，并应符合下列要求。1、宜采用隔振台。座，2,应选用刚度适当的隔振器，3.通往洁净室 区.的管道,宜采取隔振支.吊，架 柔性连接等隔振措施,15，3，4,洁净室内精密设备。仪器的被动隔振措施的设计。应符合下列要求，1。隔振台.座,应具有足够的刚度,2.应采用低刚度隔振设施、3，隔振系统各向阻尼比不应小于0,15、4，隔振台。座,应采取倾斜校正措施.5。隔振设施不应影响气流流型，6、当采用空气弹簧隔振器时、其供气系统应进行净化处理 并应达到洁净室空气洁净度等级的要求,