4,3。洁净室布置和综合协调4、3 2、洁净室 区.的空间布置,主要应做到、满足产品生产工艺要求.合理布置产品生产工艺设备。特别是高 大设备的安排,合理布置物料运输系统,使电子产品生产做到有效.灵活和操作方便,与此同时,由于电子工业洁净厂房中各种公用动力设施和管线,产品生产工艺所需管线,净化空调系统风管和末端装置。电气照明设施等种类繁多.在进行洁净室、区,的空间布置时应充分兼顾以上各项内容。并做妥善安排,根据已有或正在建设中的电子工业洁净厂房的空间布置状况表明 单层垂直单向流洁净室的上技术夹层的空间尺寸一般为2 0,2。5m 当采用活动地板时 下技术夹层为1,0。1、5m 有的面积较小的洁净室只有0,6,0.8m,所谓 多层、垂直单向流洁净室 上技术夹层空间尺寸是根据其使用功能和建筑结构确定、如在此空间是否安装循环风处理装置以及风管及过滤器或FFU的外形尺寸等确定 一般上技术夹层空间尺寸3,0m左右,有的可达4。0m,下技术夹层一般不仅是净化空调系统的回风静压箱。常常还设置有公用动力设施。生产辅助设施等,为了运行管理方便和必须的安全保护距离、一般下技术夹层空间尺寸为4、0m.非单向流洁净室只设有上技术夹层或技术夹道。目前各种用途的非单向流洁净室的上技术夹层的空间尺寸一般为1.5,2.0m.视具体工程项目安排的使用功能和布置在此空间的公用动力设施、管线的多少和外形尺寸确定,4,3 3、现今电子工业洁净厂房、一般推荐使用大开间的开放式生产设备布置、所以本条规定在洁净室.区.内应少设隔间,少分隔,只有本条规定的三种情况。才予以分隔.其中第1款是安全生产和消防的需要、必须进行分隔.列为强制性条文.第2款.是从方便管理和节约能源出发,对经常不同时使用的生产区域或房间之间进行分隔。第3款,是从排放有害气体或化学污染物会发生交叉污染或影响电子产品质量时 应将此类工序.设备进行分隔设独立房间,但若采取可靠的排风处理措施。能够确保不发生交叉污染或影响产品质量时 也可不予分隔,

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