7,5、采暖.通风7.5 1、为使洁净室,区.内严格做到不产生或少产生尘粒 不滞留或少滞留尘粒,若洁净室,1X。需设置采暖设施时、不应采用散热器采暖,据调查了解 目前电子产品生产用洁净室、区,内大多不采用散热器采暖、为此本条作了严格规定、并为强制性条文,7。5、2.为确保局部排风系统的安全.稳定运行、电子工业洁净厂房内局部排风系统单独设置的要求,应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范、GB。50073,2001中第6，5 3条规定、7、5、3,一些电子工业洁净厂房内使用各类品种、一定数量的可燃，易爆和有毒物质.其中以集成电路芯片制造工厂为最多。为确保电子产品生产的安全。可靠运行,通常在使用这些物质的生产设备均设有局部排风系统,在芯片制造用洁净厂房中的可燃.有毒或有害物质主要有,酸碱类。HF,HCl、H2SO4，HN03。NH3等.有机类。IPA、异丙醇,CHCl3。NBA。HMDS。丙酮等 特种气体、AsH3 SiH4.PH3，B2H6，HCl、NF3、WF6,SiHCl3.CF4,SF6。N20等 这些物质大部分对人类生存环境具有巨大的危害性 为此、电子工业洁净厂房设计中必须采取必要的技术措施,将危害性减少到最小.同时 还应采取技术措施。防止这些物质的排气系统对所在厂房的安全、卫生造成威胁或危害,本条的各项要求以此为出发点作出相应的规定，现对一些规定说明如下.1,排气系统中，含有水蒸气或凝结物质时。若不能排除系统中的凝结液,将使排气系统不能正常运行或造成安全事故或影响洁净室.区,的空气洁净度。为此本条规定.此类排风系统应设坡度及排放口.以便及时排出凝结物质.2、排气介质中含有剧毒物质时、该排风系统在运行过程中是不能停止运转的.一旦停机、将对洁净室工作人员和洁净厂房周围环境带来致命的或巨大的危害.为此本条规定 此类排风系统的排风机和处理设备应设备用、并设置应急电源。排风介质中含易燃、易爆等危险物质或工艺可靠性要求较高时,为确保安全运行、排风系统也不能停止运转 为此本条规定，此类系统的排风机应设备用.并应设应急电源。3 现将美国消防协会。NFPA。的NFPA。318,洁净室消防标准.中的相关条文摘录如下。供参考，第3。5 1条。排风系统必须设有自动应急电源,第3。5。2条.应急电源工作时 必须达到不低于排气系统50 的容量.第8、8节,使用可燃或易燃化学品的设备。必须具有可燃或易燃气体或蒸气浓度降低至爆炸下限20。以下的排气系统，7 5,4，为了避免含有毒性，爆炸危险性物质的排气管路向沿程或路由区域泄漏。形成安全事故的发生，本条规定、此类排气管路内压力应低于路由区域内的压力,即保持一定的负压值,美国消防协会的NFPA、318 洁净室消防标准.中第3 2 3条规定，含有有毒化学物质的排气系统压力.必须低于通过建筑区域的正常压力,7.5。6。制定本条的主要依据有 1。按现行国家标准、采暖通风与空气调节设计规范，GB50019 2003中第5,4。3条制定本条第1款规定 2，根据现行国家标准.采暖通风与空气调节设计规范，GB50019,2003中第5、4 6条规定本条第2款明确规定在洁净室。区。和洁净室.区,外设手动控制开关 为运行安全和管理要求,并规定应设自动控制开关.3、参照美国消防标准NFPA。318。洁净室消防标准，中第3.5、1条,排气通风系统应设置应急电源.为确保事故排风系统及时投入运行,不会因停电无法运行而诱发事故的发生、制定本条第3款的规定，