9,3,空气调节与净化9。3,1,印制电路板厂房内的空气洁净度,温度 湿度要求应满足生产工艺的要求。9.3,2.厂房内的车间或区域符合下列情况之一时,空气调节系统宜分开设置 1、对温度,湿度控制要求差别大的房间.2、净化空调系统与一般空调系统、3,容易产生交叉污染的区域或房间,4、工艺设备发热量相差悬殊的不同房间,9,3,3。厂房内洁净室,区.与周围环境应维持一定的压差,不同等级的洁净区之间的静压差不应小于5Pa,洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa.洁净室 区。与室外的静压差不应小于10Pa,9.3.4。生产区空调、净化房间的新鲜空气量应取下列两项中的最大值,1,补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和 2。供给洁净室.区、内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3,供给非洁净室,区。内每人每小时的新鲜空气量不小于30m3 9、3 5,空调系统的送风,回风和排风系统的启闭连锁 控制要求,应符合现行国家标准,电子工业洁净厂房设计规范.GB 50472的有关规定,9,3、6。满足空气洁净度等级的洁净室送风量 静态,和气流流型宜按表9、3,6计算.表9,3,6,洁净室送风量,静态。和气流流型 注.1、换气次数适用于层高小于4,0m的洁净室、2,室内人员少,热源少时。宜采用下限值.9 3。7 单向流和混合流洁净室的噪声级,空态,不应大于65dB,A,非单向流洁净室的噪声级 窄态,不应大于60dB A、9。3.8。洁净室的送风方式可分为集中送风、风机过滤机组送风等,9 3 9.电镀.沉铜,棕化 表面处理,蚀刻.清洗、烤板等工序宜设置岗位送风系统。岗位送风系统宜经过过滤,冷却。加热等处理 送风温度宜保持在16,28,9.3、10,空气过滤器的选用、布置应符合下列要求,1,空气净化处理系统应根据空气洁净度等级合理选用空气过滤器 2。空气过滤器处理风量不应大于额定风量.3,中效和高中效空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段,4。亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端,5,同一净化空调系统中末端空气过滤器的阻力 效率。使用风量与额定风量之比值应相近,9 3,11 风机过滤器机组的设置应符合下列要求。1、应根据空气洁净度等级和送风量选用、2.送风量应能调节 3、应便于安装。维修及过滤器更换.9。3 12 干冷却盘管的设置应符合下列要求,1.迎面风速不宜超过2,5m,s.2。空气侧阻力不应大于40Pa.3、布置在同一洁净室 区 内的干冷却盘管.在工作条件下空气侧阻力相差不应大于10,4。冷冻水的供水温度应高于洁净室、区.内的露点温度,5。应设置排水系统 9 3,13,净化空调系统的新风吸入管应设置密闭装置,并应与风机连锁.9。3、14 空调系统采用电加热器时 电加热器与风机应联锁控制、并应设置无风,超温断电保护装置 当采用电加湿器时。应设置无水,无风断电保护装置、寒冷地区.新风系统应设置防冻保护措施,

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