10 3，纯.水10 3。1,纯水系统除应符合现行国家标准,电子工业洁净厂房设计规范,GB 50472和.电子工业纯水系统设计规范。GB，50685的有关规定外。尚应符合下列规定 1 纯水系统应包括纯水制备系统.纯水分配系统及纯水回收、处理系统,2,纯水系统除应满足所需水量 水质，水温和水压的要求外,还应满足运行灵活.安全可靠,便于操作管理、运行费用低的要求。3,纯水输水及分配系统的附加循环流量宜大于设计用水量的20。4,纯水系统的回收率应根据工程实际情况合理确定、10,3.2，纯水制备用原水,宜选用符合条件的再生水。