4。4，设备配置4,4 1 本条是对薄膜晶体管液晶显示器生产设备和辅助设备配置的原则性要求、工艺生产设备及其设备的选择除应满足加工工艺参数的要求外 应配备有必要的安全保护装置,还应采取措施防止本设备加工过程中产生的粉尘,蒸发气体.振动、电磁辐射等对洁净室环境,其他加工设备以及产品质量的不利影响.另外、鼓励建设单位在条件允许时选择自动化程度更高、能源和原材料消耗更省.排放，废气，废水,更少的设备 4 4.2，阵列。彩膜和成盒工序段主要的加工对象为玻璃基板。玻璃基板尺寸大而薄。极易破碎、且对表面的污染控制要求很高 采用专用工装进行搬运显然是必要的、而对于批量生产线.由于搬运量大 生产连续性要求高、更适宜采用全自动物料搬送系统,如采用人工搬运小车进行搬运，易造成搬运错误或不及时。并造成因洁净室内人员频繁走动引起的空气污染问题,从而影响产品生产的良品率等，出于同样的原因 跨层之间的产品垂直运输适宜采用自动化垂直运输设备,尽可能不采用 洁净。货运电梯的方式、4。4，3 化学气相沉积机和溅射机等需定期进行腔体维修和靶材更换等。该设备及附近区域应配置必要的吊装起重设备.吊装起重设备的设置除应满足服务区域,起吊高度和使用负荷要求外 还应满足表面光洁，易清洁.不发尘，不挥发泄漏等洁净要求、