14 空间管理14.1,一般规定14、1、1,空间管理设计应符合下列规定、1 工艺设备平面布置。运行,维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高。2 一般给水排水。纯水.工艺冷却循环水、废水处理 消防等设备外形尺寸、平面布置。运行,维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高.3,洁净.采暖。送风。排风.冷冻水等设备的外形尺寸,平面布置。运行,维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高,4 冷、热源.大宗气体供应,压缩空气站 真空泵房,特种气体站房内设备的外形尺寸,平面布置 运行 维修.安装及主要配管应满足最小安全距离及占用标高、5、化学品供应及回收设备外形尺寸,平面布置,运行、维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高,6 电气设备 照明灯具等设备的平面布置和电缆桥架,母线槽等配管应满足最小安全距离及占用标高 14、1 2、洁净生产层净高应按工艺设备和物料运输设备尺寸、微环境装置及洁净气流控制等因素确定,阵列。彩膜。成盒区域不宜低于4m,模组区域不宜低于3m,14,1、3,下技术夹层净高应按照工艺辅助设备尺寸及其搬入高度、管线布置 洁净气流控制等因素确定。不宜低于4m,14、1、4。上技术夹层净高应按照空调设备,管线布置.洁净气流控制等因素确定,不宜低于3m

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