14，空间管理14、1。一般规定14.1,1，空间管理设计应符合下列规定，1 工艺设备平面布置.运行。维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高，2.一般给水排水。纯水.工艺冷却循环水 废水处理.消防等设备外形尺寸。平面布置。运行、维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高 3.洁净，采暖，送风 排风,冷冻水等设备的外形尺寸,平面布置.运行.维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高.4 冷,热源、大宗气体供应.压缩空气站，真空泵房、特种气体站房内设备的外形尺寸 平面布置,运行、维修、安装及主要配管应满足最小安全距离及占用标高，5，化学品供应及回收设备外形尺寸，平面布置，运行。维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高 6，电气设备、照明灯具等设备的平面布置和电缆桥架，母线槽等配管应满足最小安全距离及占用标高,14。1、2。洁净生产层净高应按工艺设备和物料运输设备尺寸，微环境装置及洁净气流控制等因素确定、阵列，彩膜,成盒区域不宜低于4m。模组区域不宜低于3m。14.1,3、下技术夹层净高应按照工艺辅助设备尺寸及其搬入高度、管线布置，洁净气流控制等因素确定、不宜低于4m,14.1,4、上技术夹层净高应按照空调设备、管线布置 洁净气流控制等因素确定.不宜低于3m，