6.2。管材及附件6、2，1.气体系统管道材质及附件。应按设计要求选配、如设计未作明确要求，选用时应与洁净室洁净度级别和输送气体性质相适应、并应符合下列规定。1，应使用无缝管材.2 管材内表面吸附.解吸气体的作用小。3 管材内表面应光滑、耐磨损,4、应具有良好的抗腐蚀性能，5,管材金属组织在焊接处理时不应发生变化.6。负压管道不宜采用普通碳钢管,6.2，2。所用管材应放在室内保管。不得重叠码放，管道应无裂纹 缩孔 夹渣，起瘤 折叠 重皮、锈斑、表面损伤等缺陷,管道应平直 圆滑,6，2.3.成品管外包装和相应管端头的管帽,堵头等密封措施应有效 无破损 6 2。4,氧气阀门必须采用专用产品。其密封圈应采用有色金属 聚四氟乙烯等材质,填料应采用经脱脂处理的聚四氟乙烯、6.2。5 采用铜材的高纯气体管路,可用不锈钢材质的附件,但在不锈钢材质的管路中.不应采用铜质的附件、