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G。3,恒、压,法G.3,1.测试系统如图G,3.1所示,G 3。2,可按以下步骤进行检测.1,将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定.记录测试过程中室内温度的变化 温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0。1 2,关闭所测洁净室围护结构上的门、传递窗等、关闭回风管 或排风管。上的阀门 如果风管上无阀或阀不严 应在回风口、或排风口。上用塑料膜加肓板的方法封住风口。3 开启送风。使室内压力上升至500Pa、停止送风 关闭送风阀门,通过围护结构上的孔洞和导管.由送风机或空气压缩机向室内补气,通过调节安装在导管上的调节阀调整补气流量 以维持洁净室内的压力稳定不下降 每隔1min记录一次补气管路上浮子流量计读数 此数即为漏气量 测试持续的时间宜不超过5min。取平均值、4、反之关闭送风阀。开启排风、当室内压力下降至。500Pa时关闭排风,开启真空泵保持室内压力,记录真空泵抽气量、此数即漏泄量。5.测试结束后慢慢打开风阀.使房间压力恢复到正常状态。6、如果需要进行重复测试、20min后进行.7,当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵,G,3.3、检测报告应包括以下内容,1、检测条件.包括室内温度等。2。检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度,室内温度的动态变化 漏泄量的动态变化 3,检测结果包括所测洁净室5min内的每小时漏泄率、所测洁净室围护结构严密性的评价,

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