11 5,工艺设备安装11.5.1、工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能。11，5。2、工艺设备安装时,现场的净化空调系统应已连续运行24h以上 现场除正常照明外,应配备三相380V。单相220V和低压行灯电源，11,5。3 任何用于大设备的提升.牵引或定位的专用设备在进入洁净室安装现场前、应彻底清洁，并应检查有无脱屑 剥落的表面或不宜进入洁净环境的材料 11、5.4。设备安装时应妥善保护墙壁与地面，设备的软胶轮应予包裹.避免在地面拖磨,开洞作业不应划伤或污染所在表面.设备安装位置穿越不同洁净级别区域时，穿越处缝隙应用柔性材料填充,密封。并应装饰处理,11，5、5 设备安装时宜在设备周围设临时隔离墙，设备周围应留出足够的安装空间.隔离区内应阻断正压送风，进入隔离区的人员应按进入洁净区要求，11、5。6。除设计有明确要求外。设备的安装宜不作永久性固定,不采用地脚螺栓方式。宜安装成可移动性的半固定式。11，5 7.无脚轮的设备安装就位时 应有承重部位地面的保护措施、11，5。8 设备离墙距离应能满足维修和清扫要求 当靠墙安装时。与墙间的缝隙应密封 11。5，9、设备底面应抬离地面80mm。150mm.不能抬高这一距离时，应落地安装,与地面间的缝隙应密封.11,5、10.水池,水槽等用水设备与围护结构接触的边沿部位的缝隙应密封、11。5,11，设备配管配线所用各种管线原料和垫料.填料等辅料应对产品和环境无不良影响.应避免在洁净环境中进行材料加工.当不可避免时.应采取防止粉尘扩散措施.11,5,12。当设备较高无法擦拭到顶部时,应采取可以清扫的措施 11，5。13 应在设备找正 调平后进行设备二次配管.配线、