附录G,洁净室气密性检测方法G 1，原,理G，1、1，保持室内为正压或负压均能满足检验要求.但条件允许时.负压洁净室宜用正压检验。正压洁净室宜用负压检验、G,1、2、可按以下方法进行检测 1.压力衰减法使室内达到某一压力,正压或负压 关闭加压或抽负压系统。观察压力随时间衰减的情况.记录下压力衰减到起始压力的一半时所用的时间。即为测量室内正压或负压的半衰期，2,恒压法使室内达到某一正压，同时向室内补气、使室压达到要求的稳定值而不下降时的补气量即为漏泄量。使室内达到某一负压,使室压维持要求的稳定值而不下降时的抽气量即为漏泄量,