5、2、结。构5,2。1。设计时应考虑各建筑物的用途,对于封装测试生产厂房。则应根据厂房的投资额 建筑面积和职工人数等确定抗震设防类别、5。2,3,由于常用的FFU.风口及高架地板的尺寸均为600mm的模数、为便于净化工程的安装与施工、降低建造成本。厂房柱网宜采用600mm的模数、5、2、4。5,2 5 主要考虑厂房变形缝会对洁净生产区的气密性造成影响 目前结构设计上都有成熟的措施及经验避免在净化厂房内设置伸缩缝。5。2、6,目前采用先进封装技术的工厂中使用了步进光刻机等对微振敏感的设备。因此需根据设备及工艺要求采取相应的防微振措施、

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