5.4、三氯氢硅氢还原5、4 1 太阳能级多晶硅还原电耗应符合国家有关光伏制造行业规范条件的要求 5，4，2 还原炉供料系统应接近或紧靠还原车间布置.5,4,3、还原炉室应根据炉型的大小设置吊装行车 并宜配备专有的拆卸硅棒工具,5、4,4，热能回收利用装置应根据生产工艺系统的特性、回收还原炉内硅棒的辐射热量 5,4,5.生产太阳能级多晶硅的还原炉室应采用不低于三级过滤的洁净新风、生产半导体级多晶硅的还原炉室洁净度应大于8级。5 4、6、主工艺物料系统和还原炉夹套冷却系统应设安全阀等安全设施