10。3.空气调节与净化10，3 1 厂房空气洁净度等级，温度、湿度的设计应满足生产工艺要求 10,3。2.存在下列情况之一时 空调系统应分开设置.1、净化空调系统与一般空调系统,2、空气中含有易燃 易爆物质.3。容易产生交叉污染，对其他工序的产品质量造成影响,4。对温 湿度控制要求差别大,5、工艺设备散热量相差悬殊,10 3，3.保证空气洁净度等级的送风量应符合下列规定。1 5级 8级洁净室送风量应符合现行国家标准。洁净厂房设计规范.GB、50073的有关规定.2。生产太阳能级多晶硅的还原炉室.当空调系统为三级过滤时 其送风量应按换气次数大于或等于6次 h计算。10、3.4,空调系统新风量应取下列两项中的较大值.1,补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和.2，保证供给室内每人每小时的新风量，洁净区不应小于40m3。非洁净区不应小于30m3.10。3 5、洁净室送风可采用集中送风或风机过滤机组送风的方式。10 3.6。洁净室与周围区域的压差应符合下列规定,1、不同等级的洁净区之间的压差不应小于5Pa，2，洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa，3、洁净区与室外的压差不应小于10Pa。10.3、7,洁净空调送风,回风和排风系统的启闭应连锁，正压洁净室连锁程序应为先启动送风机.再启动回风机和排风机。关闭时连锁程序应相反.10，3,8。单向流和混合流洁净室的空态噪声级不应大于65dB.A 非单向流洁净室的空态噪声级不应大于60dB，A、10.3，9 还原车间应独立设置直流空调送风系统。不应回风、10、3,10.腐蚀清洗室。硅棒破碎室、配件清洗室的空调送风系统不宜回风,10 3，11。洁净空气调节系统的新风集中处理时，新风处理机组应符合下列规定、1。新风应经过粗效过滤器处理 2、严寒地区新风应先预热,3，送风机宜采取变频措施.10，3 12、空气过滤器选用。布置应符合下列规定、1，空气净化处理应根据空气洁净度等级选用过滤器.2 空气过滤器处理风量不应大于额定风量，3.中效、高中效。空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段。4 亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端.10。3,13.风机过滤机组的设置应符合下列规定，1,应根据空气洁净度等级和送风量选用、2，送风量应能调节，3.应便于安装 维修及过滤器更换，10,3，14 净化空调系统的送风机宜采用变频装置、