5，3、氯硅烷提纯5，3。2.氯硅烷物料中三氯氢硅,四氯化硅、二氯二氢硅性质接近,特别适合差压耦合工艺,而且与其他常规精馏工艺相比，差压耦合工艺能有效降低能耗40 80。因此为了降低单位产品能源消耗。热量双效梯级使用 宜优先考虑采用差压耦合工艺,5、3.3,本条第4款的规定是为了防止耦合氯硅烷蒸气得不到完全冷凝，影响生产的正常运行