12.2，生产工艺12,2，1、还原炉应选用高效率,低能耗的炉型.12，2。2 多晶硅生产应采用先进的精馏技术，并应将多晶硅生产各工序进行物料平衡和能量平衡计算、应确定能耗低，经济性好，竞争力强的工艺流程、12，2,3,多晶硅生产应优化工艺，采暖。通风 空调参数及换热网络 应实现各种能量的梯级利用,12，2。4.多晶硅工厂应利用多晶硅生产过程中的副产物,12.2，5、多晶硅工厂必须同步设计余热利用系统、还原炉和氢化反应的余热回收应用于提纯精馏塔再沸器的加热 且余热利用系统不应影响多晶硅正常生产,不应提高多晶硅能耗或降低产量、12，2，6,多晶硅生产过程应选用节水，节能型产品。并应符合现行国家标准、节水型产品通用技术条件.GB.T 18870的有关规定。12 2 7 设备和管道应选用保温性能良好的绝热材料.保温设计应符合现行国家标准，工业设备及管道绝热工程设计规范 GB,50264的有关规定、12.2 8.各装置以及重要设备宜设置计量和检测仪表.并宜设置调节控制装置。以满足全厂和各个系统单独计量考核的要求、12,2。9 多晶硅工厂宜设置循环水系统 高纯水系统 脱盐水系统产生的洁净废水的回收和再利用设施，