10,3 空气调节与净化10 3.2。本条主要是从安全.节能、环保及便于运行管理等方面考虑的。10,3 3,本条中空气洁净度等级及送风量主要依据现行国家标准,洁净厂房设计规范,GB、50073。洁净室送风量 静态、和气流流型见表1,表1.洁净室送风量,静态。和气流流型 表1中换气次数适用于层高小于4。0m的洁净室。室内人员少,热源少时。宜采用下限值。根据国内现有多晶硅生产厂房的实际情况制订的,三级过滤。就是将粗、中。高效过滤段全部设在净化空调机组内。用风管将净化的空气直接送入洁净室或房间,不再设高效过滤器送风口,这种空气净化形式可以满足多晶硅厂房部分工艺生产的要求、减少投资、运行管理方便。这里规定还原炉室的送风换气次数、主要是对应还原炉室的排风量不得小于6次,h的换气次数。10。3、4,本条是强制性条文,关于洁净室新鲜空气量的问题、现行国家标准、工业企业设计卫生标准,GBZ,1和、采暖通风与空气调节设计规范。GB,50019都对空调房间人员所需最小新风量作了强制规定 工业建筑应保证每人不小于30m3 h的新风量.现行国家标准 洁净厂房设计规范.GB、50073规定.保证供给洁净室每人每小时的新鲜空气量不小于40m3.因此本规定对洁净区和非洁净区的新风量采用了不同标准 以保障人身安全,10、3,5.集中送风.是指净化空调机组设在空调机房,空气经过过滤,加热 制冷,加湿等集中处理之后,由风管送入洁净室、风机过滤机组 是指由风机和高效过滤单元组成的机组 多晶硅厂房净化空调系统。一般洁净等级在6级以下时 采用集中送风形式.洁净等级在5级以上,包括5级,时.采用集中送风加风机过滤机组的形式,10 3、6。本条是强制性条文,对洁净室压差控制作出规定、为了保证洁净室在正常工作或空气平衡暂时受到破坏时。气流能从空气洁净度高的区域流向空气洁净度低的区域,而且洁净室的洁净度不受污染空气的干扰.所以洁净室与周围环境应保持一定的压差.10。3,7、本条是保证洁净室压差控制的措施。10,3、8.本条对洁净室噪声级提出要求.空态 是指洁净室设施已经建成.所有动力接通并运行.但无生产设备、材料及人员的阶段,10,3,9.本条是强制性条文。还原车间生产使用氢气,火灾危险性分类为甲类.现行国家标准、采暖通风与空气调节设计规范。GB,50019相关条文强制规定.甲 乙类生产厂房不应使用循环空气。以保障人身安全,10、3,10,腐蚀清洗室、配件清洗室。硅棒破碎室空气洁净度分别为7级以上、8级,7级,工艺生产有酸性腐蚀性气体或有粉尘、局部排风不能完全排除酸气及粉尘,这样净化空调系统就不应回风 10.3、11.本条是洁净厂房设置多套净化空调系统。新风集中处理的时候对新房机组功能的要求 主要是为了安全和节能.10.3 12.空气过滤器分类,性能指标参照了现行国家标准。空气过滤器 GB,T,14295和。高效空气过滤器 GB T。13554的规定,在多晶硅厂房设计中,一般常用的过滤器有粗效过滤器、中效过滤器,亚高效过滤器 高效过滤器,过滤器的额定风量是过滤器在一定的过滤风速下。其效率和阻力最合理时的风量.如果大于额定风量,过滤器阻力增大。导致系统阻力增加 对于高效过滤器。风速过大有可能吹破滤纸,中效过滤器集中设置在净化空调机组的正压段.主要是考虑到机组的负压段向内漏风 影响过滤效果.一般有洁净等级的洁净室、高效过滤器宜设在空调系统末端。对于三级过滤净化空调 高效过滤器可设在净化空调机组内中效过滤器后的正压段上,10,3,14 在净化空调系统中 空气过滤器的阻力占空调系统总阻力的比例很大.空气过滤器的阻力会随着容尘量的增多而增加、使系统的风量减少,因此在计算系统阻力时应按过滤器的终阻力计算.系统初运行时.过滤器初阻力较小,系统阻力低,风机采用变频装置可以调节风量 达到节能目的.

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