5 工艺设计5，1、一般规定5,1、1,三氯氢硅氢还原法多晶硅生产工艺主要由还原 提纯,干法回收和三氯氢硅生产四大主工艺系统组成 工艺流程见图1，图1。三氯氢硅氢还原生产工艺流程简图 多晶硅行业近年来发展迅速 其生产工艺和设备装备水平较以前均有大幅度提升。每个主工艺都有几种工艺方案选择，为提高建设质量以及整个行业的技术水平.本条对工艺流程的设计和工艺设备的选型进行了规定,1 多晶硅工厂主要的能源消耗是电力和蒸汽、由此产生的成本超过了多晶硅成本的一半，不同的产品方案决定了不同的精馏提纯流程和工艺，不同的建设规模和能源价格决定了不同的氢化工艺，不同的建设规模 能源价格和投资资金决定了还原炉等主要设备选型的经济性,2 3、国家大力提倡循环经济发展模式，以建设资源节约型，环境友好型的美丽社会为目标,因此工厂建设中应做到安全可靠 环保节能，技术先进 经济合理 5.多晶硅生产是个较为复杂的系统工程，每个主工序的生产特点均有不同，如还原过程的一次转化率低、只有10,左右.大量三氯氢硅和副产物以尾气的形式进入干法回收系统、干法回收应具备吸纳不同气量。不同组分还原尾气的能力,各个主工序之间生产能力应有合理匹配和综合平衡.5 1。5。现行国家标准、多晶硅企业单位产品能源消耗限额。GB 29447中对多晶硅各生产单元的工艺电耗.蒸汽消耗，综合电耗以及综合能耗分别给出了限定值、准入值。先进值的要求、新建项目至少达到限额准入值标准 本条规定各生产单元的蒸汽.电力及综合能耗不大于限额准入值，并达到先进值、目的是节约资源能源。5 1、8，多晶硅生产过程伴有氢气,三氯氢硅 二氯二氢硅 四氯化硅。氯化氢等危险化学品,对于输送易燃。易爆 有毒,有腐蚀性物料的设备和管道应考虑其使用的安全性 防止泄漏,