9、3，废水处理9.3.1，处理后废水应优先回用至尾气淋洗工艺,多余部分外排，9。3.2，多晶硅工厂产生的生产废水主要为尾气淋洗废液、废液处理设施尽量与尾气淋洗设施就近设置。同时考虑处理用药剂及产生污泥的运输、9.3 4。本条是强制性条文。硅料清洗产生的含氟废酸氟含量偏高,腐蚀性强。在处理时应采取措施防止液体泄漏及氢氟酸挥发至大气中,造成污染、故应单独处理.同时单独处理含氟废酸。可减少处理药剂用量,保证整个工厂处理排水最终达标排放.此部分废液可先单独预处理后再与其他生产废水混合处理，9.3。5，废水调节池,尾气淋洗水解池等泄漏时,会对地下水造成污染,宜在地下水下游设置1处检测点.监测地下水酸碱度。pH值.氯.氟及溶解盐等污染物的含量。