5 7,分析检测5，7.1 多晶硅工厂应设置单独的分析检测室，并宜在四氯化硅氢化,还原尾气干法回收，三废处理站等装置区内设置在线分析装置，5，7、2,分析检测室不应与甲.乙类房间布置在同一防火分区内、可独立设置于一侧。5,7.3,分析检测应包括下列内容 1.氯硅烷的含量、杂质、含碳化合物分析,2。硅粉的含量,杂质、粒度，碳含量分析。3,液氩中氧，氮含量分析 4，液氮中氧含量的分析。氮气中氢含量、氧含量和露点分析，5、氢气中氧含量.氮含量、氯硅烷含量，露点分析.6、水中氯离子。Cl，氟离子，F、化学含氧量.COD、生化需氧量 BOD，酸碱度.pH值、硬度,全碱度。悬浮物、总磷、正磷分析,7,大气中氯化氢,氟化物，氮氧化物分析。8 多晶硅质量指标分析 指标分析包括多晶硅的导电类型。电阻率,少子寿命，氧含量，碳含量 表面金属杂质含量、体金属杂质含量的分析，9，合成原料氯化氢的纯度分析，10、液氯中三氯化氮、水含量分析。5 7，4，分析检测室中除化学分析外、其他分析检测室应设置在洁净区.