5。2 三氯氢硅合成和四氯化硅氢化5,2 1，目前国内多晶硅企业有的自建合成装置、有的靠市场供应补充、有的调整生产工艺将氢化和合成工序合二为一、因此各个企业应根据各自情况来决定采用何种方式补充三氯氢硅,5 2。4，三氯氢硅合成的反应气体中含有粉尘，金属氯化物等杂质、这些物质有可能堵塞设备和管道。影响生产系统的运行 造成停车等问题.因此需要采取合适的除尘工艺除去该类物质，减少系统阻塞的可能性.保证较长的运行时间。减少停车检修时间、5，2,7 目前国内主流的四氯化硅处理方式为高温氢化、冷氢化,各有优缺点、高温氢化工艺单位产品耗电量高,冷氢化工艺虽然单位产品耗电量低.但是会引入新杂质 与之配套的精馏提纯工艺较为复杂.蒸汽消耗量较高。所以各个企业应根据各自情况综合比较后再决定采用何种氢化工艺、5。2 9，为保证冷氢化工序生产连续长期运行。应定期排放固体含量很高的残液、防止其堵塞管道和设备。由于残液中含有硅粉 金属氯化物等物质 不适合长距离输送 而残液需要回收有用组分,避免造成环境污染,因此冷氢化装置应配套残液回收装置.且就近配置。5。2 11.对于输送易燃.易爆、有毒 有腐蚀性物料的设备应考虑其使用的安全性、防止泄漏。