6、2，自。动，化6 2.1 对本条第2款的说明如下，分散型控制系统，DCS，安全仪表系统、SIS、安全栅属于关联设备,为方便现场安装。调试 开车，统一由分散型控制系统,DCS。供应商提供并承担相关责任和服务.以避免中间环节的推诿,扯皮现象 6.2。2，对本条第3款第4项的说明如下,还原炉硅芯 棒.内、中.外均采用高温双色红外测温仪 是由于被测硅芯较细。且还原炉的视镜易受到污染,影响测量精度。而采用双色红外测温仪则能够更好地消除干扰。保证测量精度要求、6.2。3，对本条第3款第2项的说明如下。对于测量氯硅烷介质的仪表、宜采用隔膜式压力表。法兰安装,目的是防止氯硅烷类介质水解后堵塞仪表导压管道.同时起到防腐作用,对本条第4款第2项的说明如下。一般的压力表和压力变送器是指本行业内常用的工艺接口尺寸在M20。1.5或1。2。60度锥管螺纹，NPT.的一类压力仪表类型.6.2 4.有关流量仪表的选型要求说明如下。2,多晶硅工厂中使用的脱盐水及超纯水介电常数非常低 使用电磁流量计会测量不准，4 由于还原炉内硅棒数量多,工艺要求三氯氢硅及氢气流量变化范围大且要求进料量精度高。为确保全量程下的自动化控制 则宜选用大量程仪表，并带有温。压补偿功能、以保证多晶硅产品的质量要求和连续化自动控制，由于还原炉进料过程中压力不高 氢气密度低.科氏力质量流量计测量氢气流量必然会严重缩径，按照现行国家标准。氢气站设计规范.GB 50177的有关规定、在氢气设计压力为0、1MPa、3 0MPa时。氢气在碳钢管道中的流速小于15m。s、在不锈钢管道中的流速小于25m。s。因此.在仪表设计中,应避免氢气高流速的现象产生，以免造成测量仪表误差及损坏管道、甚至发生爆炸危险，5。在工艺管道和设备产生泄漏的情况下.氯硅烷介质极易发生水解现象，并产生自聚物堵塞管道或设备，所以一般使用容积式流量计。6,2，8、大部分装置中都存在有毒 可燃性气体。因此应符合现行国家标准。石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计规范 GB，50493中的相关要求、建立一套独立设置的报警、联锁系统、以保证装置生产安全、正常的运行。3 本款是强制性条款、通常情况下 工艺装置或储运设施的控制室,现场操作室是操作人员常驻和能够采取措施的场所、现场发生可燃气体和有毒气体泄漏事故时，报警信号必须使现场报警器报警 提示现场操作人员采取措施.同时.报警信号发送至有人值守的控制室、现场操作室的指示报警设备进行报警、以便控制室、现场操作室的操作人及时采取措施、6,2，9，在线分析仪表宜采用气相色谱仪。是为了更好地分析原料。中间产品,最终产品的品质是否达到有关的质量标准,其中的有关要求是针对多晶硅介质的特性提出的 用以保证分析仪表设备的正常运行.6.2,11 本条第3款所述的压力值为表压.本规范中所有气体压力值均为表压.