C,15 静电测试C,15。1.洁净室 区。内的地面,墙面和工作台面等的表面导静电性能的测试。应根据生产工艺要求确定,宜采用高阻计进行测试,C.15、2,在相关表面的导静电测试表面上采用图C.15,2所示的测试装置进行表面电阻和泄漏电阻的测量.圆柱形铜电极的直径应为60mm。质量应为2。0kg 2个铜电极之间的距离应大于或等于900mm,图C,15.2。表面导静电性能测试装置1。高阻计、2,被测表面,3 圆柱形铜电极 4、湿滤纸垫

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